ฝึกการฟัง JLPT N1 บทที่ 111

品質管理統括 (Nữ): ちょっと大石おおいしさん、至急しきゅう確認かくにんしてください！第3だいさん露光ろこうベイのオンラインIMS（イオン移動度いどうど分光計ぶんこうけい）で、塩基性えんきせいケミカル汚染おせん（AMC）、特とくに微量びりょうアミン類るいの濃度のうど急上昇きゅうじょうしょうアラートが発報はっぽうしました。現在げんざい、2ナノメートル試作しさくロットのEUV（極端きょくたん紫外線しがいせん）レジスト露光ろこう工程こうていが稼働中かどうちゅうです。化学かがく増幅型ぞうふくがたレジストの露光後ろこうごベークまでの間あいだに空気中くうきちゅうのアミンがわずか数十すうじゅうpptでも混入こんにゅうすれば、表面ひょうめん難溶化層なんようかそう（T-トップ現象げんしょう）が生しょうじて線幅せんぷくの致命的ちめいてきな欠陥けっかんを引ひき起おこし、1ロット数億円すうおくえんのウェハーが全滅ぜんめつしてしまいます！

設備主任 (Nam): 数値すうちを確認かくにんしました。閾値しきいちの50pptを超こえて85pptまで跳はね上あがっています。隣接りんせつする薬液やくえき配管はいかんの継手つぎてから微小びしょうリークが発生はっせいした可能性かのうせいがあります。原因げんいん箇所かしょの物理的ぶつりてきな特定とくていと隔離かくりには30分ぷんほどかかりますが、放置ほうちすれば搬送中はんそうちゅうのウェハーカセット（FOUP）の隙間すきまから吸気きゅうきされ、露光ろこう待まちのウェハーまで汚染おせんされてしまいますね。

品質管理統括 (Nữ): ええ。配管はいかんの漏もれ箇所かしょの特定とくていはもちろん必須ひっすですが、一刻いっこくを争あらそいます。露光ろこう装置そうちへのウェハーの新規しんき投入とうにゅうはシステムインターロックで今いますぐ停止ていしさせてください。そして、対象たいしょうベイのケミカルフィルター循環じゅんかんファンを即座そくざに最大さいだい定格ていかくに引ひき上あげ、清浄空気の循環量を増やしてアミン濃度を速やかに低下させるのが先決せんけつです。それが完了かんりょうしたら、直ただちに防護服ぼうごふくを着きてリーク源げんの配管はいかんバルブ遮断しゃだんに向むかってください。

設備主任 (Nam): 承知しょうちいたしました！直ただちに制御せいぎょ端末たんまつから露光ろこうラインの自動じどうインターロックをかけ、フィルターファンの最大さいだい風量ふうりょう運転うんてんを開始かいしします！